艾特環(huán)保-超純水制備-超濾反滲透設(shè)備
2026.07.22
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作者：李思遠(yuǎn)
超純水（UPW，電阻率≥18.25 MΩ?cm @25℃）主流分為預(yù)處理→一級反滲透→EDI / 混床→拋光精處理四大階段，根據(jù)進(jìn)水水質(zhì)、用水等級（電子半導(dǎo)體 / 實(shí)驗(yàn)室 / 制藥）調(diào)整配置。
一、基礎(chǔ)水質(zhì)分級參考
- 自來水 → 原水
- 預(yù)處理產(chǎn)水：去除懸浮物、膠體、余氯、硬度
- RO 產(chǎn)水（純水）：電阻率 1～5 MΩ?cm
- EDI 產(chǎn)水：10～17 MΩ?cm
- 拋光超純水：≥18.2 MΩ?cm
二、標(biāo)準(zhǔn)完整工藝流程（電子級超純水最常用）
原水 → 原水箱 → 原水泵 → 多介質(zhì)過濾器 → 活性炭過濾器 → 保安過濾器 (5μm)
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→ 一級高壓泵 → 一級反滲透（RO）
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→ RO 產(chǎn)水箱 → 二級高壓泵 → 二級反滲透（二級 RO）
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→ 中間水箱 → 增壓泵 → EDI 連續(xù)電除鹽
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→ EDI 產(chǎn)水箱 → 增壓泵 → 拋光混床（TOC 脫除器）
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→ 超濾終端過濾器 (0.05/0.1μm) → 超純水用水點(diǎn)
簡易實(shí)驗(yàn)室路線（水量小）：原水→預(yù)處理→一級 RO→EDI→拋光混床
